這種原理的微光電開關(guān)傳感器最早于一九九一年見諸報(bào)道，是最早成功實(shí)現(xiàn)商業(yè)化的加速度微傳感器之一，測量范圍為+5g，分辨率為0.005g。目前已經(jīng)在汽車的防撞氣囊中得到應(yīng)用。
根據(jù)力平衡的概念。如果施加一靜態(tài)平衡力給第三加速度質(zhì)量塊，這個(gè)力保持質(zhì)量塊始終在很接近零位置上。這一感受質(zhì)量塊位移、阻止質(zhì)量塊偏移零位并與位移量大小成比例的靜態(tài)平衡力就是代表加速度信號(hào)的平衡信號(hào)，測出平衡信號(hào)，就得到被測的加速度信號(hào)。根據(jù)力平衡概念和反饋原理設(shè)計(jì)的零位力平衡式硅電容式加速度傳感器的結(jié)構(gòu)，敏感器件采用SI-玻璃-SI玻璃-SI結(jié)構(gòu)。兩玻璃層鍵合連接在中間硅微結(jié)構(gòu)的上、下，與懸臂梁連接的活動(dòng)極板質(zhì)量塊構(gòu)成差動(dòng)平板電容器。當(dāng)有加速度A作用時(shí)，質(zhì)量塊敞向上下振動(dòng)，由于偏離水平中間位置，引起電容量變化。變化量C由檢測電路檢測到，并由放大器A輸出到脈寬調(diào)制器，脈寬調(diào)制器感受到最富低保戶為化C并輸出對(duì)應(yīng)的調(diào)制電壓信號(hào)UE和UE，分別加到差動(dòng)平板電容器上，在活動(dòng)極板相應(yīng)位置產(chǎn)生一個(gè)靜電力阻止活動(dòng)極板偏離零位。 |
當(dāng)前位置：
